扫描电镜图像处理 

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扫描电镜图像处理

发布时间: 2016/12/14   浏览次数:796    作者:华普通用

当在观察某个深孔内部细节时,孔内是黑的,而周边衬度合适。起因是内孔产生的大量信号电子被孔壁吸收,只有小部分跑出达到探测器,这个弱信号按常规放大,人眼看不见。提高图象衬度和亮度,孔内细节如果能看清,其周边就过亮了、人眼对图像衬度的察觉是有限的。图象处理的目的就是在探测器的后续阶段、通过各种图象处理技术改善图象衬度,使其更适合人眼观察。图像处理有模拟法和数字法,其中包括直方图处理、衬度反转、微分放大、非线性放大(Y control)、信号混合、Y调制、降噪(noise ·eduction)等。非线性放大和降噪比较常用。


仍然以观察孔洞为例,通常由于二次电子边缘效应,造成空洞边缘很亮,而孔内又很黑,两处的细节均看不清。当选用某个非线性放大值后,为看清孔洞内细节而提高亮度时,孔的边缘亮度又被抑制,是放大器按了曲线处理信号的功能。


电镜是扫描成像,自然会有随机噪声叠加在图僚上,若帧扫时间短,噪声更严重,图上覆盖着不规则闪动的白点,细节看不清,有如“雾里看花”。对图像进行降噪处理可以滤除噪声。其方法有多种,如帧平均、像素平均、线积分、卷积滤波、卡尔曼滤波等。因为是计算机控制的实时处理,过程很快,所以使用时可根据图像细节任意选用,看哪种方法好。


图像处理是对图衬度、亮度或噪声进行加工,最后获得一幅人眼可以识别和接受的改善图像。应注意,如果样品本身的自然衬度不存在,或者细节清晰度不好,后期应用的各种处理技术均不会增加任何信息。

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